Sustavi hlađenja tekućim dušikom naširoko se koriste u industriji poluvodiča i čipova, uključujući procese,
- Tehnologija epitaksije molekularnim snopom (MBE)
- Test čipa nakon COB paketa
Srodni proizvodi
Serija vakuumski izoliranih cijevi
Vakuumski izolirana serija savitljivih crijeva
Sustav dinamičke vakuumske pumpe
Serija vakuumski izoliranih separatora faza
Serija vakuumski izoliranih ventila
Oprema za podršku sustava cjevovoda
EPITAKSIJA MOLEKULARNIM SNOPOM
Tehnologija epitaksije molekularnim snopom (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu tankoslojnih materijala poluvodiča korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. S razvojem tehnologije ultravisokog vakuuma, primjena tehnologije je proširena na područje znanosti o poluvodičima.
HL je primijetio potražnju za MBE sustavom hlađenja tekućim dušikom, organiziranu tehničku okosnicu za uspješan razvoj posebnog MBE sustava hlađenja tekućim dušikom za MBE tehnologiju i kompletan set vakuumski izoliranog sustava cjevovoda, koji se koristi u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima. .
Uobičajeni problemi industrije poluvodiča i čipova uključuju,
- Pritisak tekućeg dušika u terminalnu (MBE) opremu. Spriječite preopterećenje tlakom od oštećenja opreme terminala (MBE).
- Višestruke kontrole ulaza i izlaza kriogene tekućine
- Temperatura tekućeg dušika u terminalnoj opremi
- Razumna količina emisija kriogenih plinova
- (Automatsko) prebacivanje glavnih i ogranaka
- Podešavanje tlaka (smanjenje) i stabilnost VIP-a
- Čišćenje spremnika od mogućih nečistoća i ostataka leda
- Vrijeme punjenja terminalne tekuće opreme
- Predhlađenje cjevovoda
- Otpornost na tekućine u VIP sustavu
- Gubitak kontrole tekućeg dušika tijekom prekida rada sustava
Vakuumski izolirana cijev (VIP) tvrtke HL izrađena je prema standardu ASME B31.3 za tlačne cijevi. Inženjersko iskustvo i sposobnost kontrole kvalitete kako bi se osigurala učinkovitost i isplativost kupčevog pogona.
RJEŠENJA
HL Cryogenic Equipment kupcima pruža sustav vakuumski izoliranih cijevi kako bi zadovoljio zahtjeve i uvjete industrije poluvodiča i čipova:
1. Sustav upravljanja kvalitetom: ASME B31.3 Kodeks tlačnih cjevovoda.
2. Posebni separator faza s višestrukim ulazom i izlazom kriogene tekućine s funkcijom automatske kontrole ispunjava zahtjeve emisije plinova, recikliranog tekućeg dušika i temperature tekućeg dušika.
3. Adekvatan i pravovremen dizajn ispuha osigurava da terminalna oprema uvijek radi unutar projektirane vrijednosti tlaka.
4. Barijera plin-tekućina postavlja se u okomitu VI cijev na kraju VI cjevovoda. Plinsko-tekuća barijera koristi princip plinske brtve za blokiranje topline s kraja VI cjevovoda u VI cjevovod i učinkovito smanjuje gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuiranog i povremenog rada sustava.
5.VI cjevovod kojim upravlja serija vakuumski izoliranih ventila (VIV): uključujući vakuumski izolirani (pneumatski) zaporni ventil, vakuumski izolirani povratni ventil, vakuumski izolirani regulacijski ventil itd. Različiti tipovi VIV-a mogu se modularno kombinirati za upravljanje VIP-om kao potreban. VIV je integriran s VIP prefabrikacijom kod proizvođača, bez izolirane obrade na licu mjesta. Jedinica brtve VIV-a može se lako zamijeniti. (HL prihvaća robnu marku kriogenih ventila koju određuju kupci, a zatim HL proizvodi vakuumski izolirane ventile. Neke marke i modeli ventila možda se neće moći izraditi u vakuumski izolirane ventile.)
6. Čistoća, ako postoje dodatni zahtjevi za čistoću površine unutarnje zračnice. Predlaže se da kupci izaberu cijevi od nehrđajućeg čelika BA ili EP kao unutarnje VIP cijevi kako bi se dodatno smanjilo prolijevanje od nehrđajućeg čelika.
7. Filter s vakuumskom izolacijom: Očistite spremnik od mogućih nečistoća i ostataka leda.
8. Nakon nekoliko dana ili duljeg prekida rada ili održavanja, vrlo je potrebno prethodno ohladiti VI cjevovod i terminalnu opremu prije ulaska kriogene tekućine, kako bi se izbjegla ledena troska nakon što kriogena tekućina izravno uđe u VI cjevovod i terminalnu opremu. Pri projektiranju treba uzeti u obzir funkciju predhlađenja. Omogućuje bolju zaštitu terminalne opreme i potporne opreme cjevovoda VI kao što su ventili.
9. Odijelo za dinamički i statički vakumski izolirani (fleksibilni) sustav cjevovoda.
10. Sustav dinamičkih vakuumski izoliranih (fleksibilnih) cjevovoda: Sastoji se od VI fleksibilnih crijeva i/ili VI cijevi, premosnih crijeva, vakuumski izoliranog sustava ventila, faznih separatora i sustava dinamičke vakuumske pumpe (uključujući vakuumske pumpe, solenoidne ventile i mjerače vakuuma itd. ). Duljina jednog VI fleksibilnog crijeva može se prilagoditi prema zahtjevima korisnika.
11.Različiti tipovi spojeva: mogu se odabrati vrsta vakuumske bajonetne veze (VBC) i zavarene veze. Tip VBC ne treba izolirani tretman na licu mjesta.
