Sustavi hlađenja tekućeg dušika naširoko se koriste u industriji poluvodiča i čipa, uključujući proces,
- Tehnologija epitaksije molekularnog snopa (MBE)
- Test čipa nakon paketa COB
Povezani proizvodi
Serija cijevi izolirana vakuumom
Vakuum izolirana serija fleksibilnog crijeva
Dinamički sustav vakuumske pumpe
Serija serije vakuum izolirane faze
Serija ventila izolirana vakuumom
Oprema za podršku sustavu cjevovoda
Epitaksija molekularne grede
Tehnologija epitaksije molekularnog snopa (MBE) razvijena je 1950 -ih za pripremu tankih filmova poluvodiča pomoću tehnologije vakuumskog isparavanja. Razvoj ultra-visoke vakuumske tehnologije, primjena tehnologije proširena je na područje znanosti o poluvodičima.
HL je primijetio potražnju MBE tekućeg sustava za hlađenje dušika, organiziranu tehničku okosnicu za uspješno razvijanje posebnog sustava zavaranja dušika za MBE tehnologiju i kompletan set vakuumskog izoliranog cjevovoda, koji se koristi u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima .
Uobičajeni problemi industrije poluvodiča i čipova uključuju,
- Tlak tekućeg dušika u terminalnu opremu (MBE). Spriječiti preopterećenje tlaka u oštećenju opreme terminala (MBE).
- Više kriogenih kontrola za ulaz i izlaz
- Temperatura tekućeg dušika u terminalnu opremu
- Razumna količina kriogenih emisija plina
- (Automatsko) prebacivanje glavnih i grana linija
- Podešavanje tlaka (smanjenje) i stabilnost VIP -a
- Čišćenje mogućih nečistoća i ostataka leda iz spremnika
- Vrijeme punjenja terminalne tekuće opreme
- Cjevovod za prethodno hlađenje
- Otpor tekućine u VIP sustavu
- Kontrolni gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuirane usluge sustava
HL -ova vakuum izolirana cijev (VIP) izgrađena je na ASME B31.3 CIPLE CIPLONG KODA kao standard. Inženjerska iskustva i kontrola kvalitete Sposobnost osiguranja učinkovitosti i isplativosti postrojenja kupca.
Rješenja
HL kriogena oprema kupcima pruža vakuumski izolirani sustav cjevovoda kako bi ispunili zahtjeve i uvjete industrije poluvodiča i čipova:
1. Sustav upravljanja kvalitetom: ASME B31.3 Kod za cjevovod tlaka.
2. Posebni fazni separator s višestrukim kriogenim ulaznim i izlazom s automatskom kontrolnom funkcijom ispunjava potrebu emisije plina, recikliranog tekućeg dušika i temperature tekućeg dušika.
3.Adekvatan i pravovremeni ispušni dizajn osigurava da terminalna oprema uvijek radi unutar dizajnirane vrijednosti tlaka.
4. Barijera s plinskim tekućinama postavlja se u vertikalnu VI cijev na kraju VI cjevovoda. Barijera s plinskom tekućinom koristi princip brtve plina za blokiranje topline s kraja cjevovoda VI u VI cjevovod i učinkovito smanjuje gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuiranog i povremenog servisa sustava.
5.vi cjevovodi kontrolirani vakuumskim izoliranim ventilom (viv) serija: uključujući vakuum izoliran (pneumatski) ventil za isključivanje, vakuumski izolirani ventil za kontrolni ventil, vakuum izolirani ventil itd. Različite vrste viv mogu se modularno kombinirati za kontrolu VIP as potreban. VIV je integriran s VIP montaži u proizvođaču, bez izoliranog liječenja na licu mjesta. VIV jedinica za brtvljenje može se lako zamijeniti. (HL prihvaća robnu marku kriogenih ventila koji su odredili kupci, a zatim izrađuje vakuumske ventile od HL -a. Neke marke i modeli ventila možda se neće moći pretvoriti u vakuum izolirane ventile.)
6. Označenost, ako postoje dodatni zahtjevi za unutarnju čistoću površine cijevi. Predlaže se da kupci odaberu cijevi od nehrđajućeg čelika BA ili EP kao VIP unutarnje cijevi kako bi se dodatno smanjilo izlijevanje od nehrđajućeg čelika.
7.Vacuum izolirani filter: Očistite moguće nečistoće i ostatke leda iz spremnika.
8. Nakon nekoliko dana ili dužeg zatvaranja ili održavanja, vrlo je potrebno unaprijed hladiti VI cjevovoda i terminalne opreme prije nego što se unese kriogena tekućina kako bi se izbjegla ledena šljaka nakon što kriogena tekućina izravno ulazi u VI cjevovode i terminalnu opremu. U dizajnu treba razmotriti predškolsku funkciju. Omogućuje bolju zaštitu za terminalnu opremu i opremu za podršku cjevovoda poput ventila.
9. Potpuni i za dinamički i statički vakuumski izolirani (fleksibilni) sustav cjevovoda.
10.DYNAMIC VAKUUM ISPOULIO (fleksibilan) sustav cjevovoda: sastoje se od fleksibilnih crijeva i/ili vi cijevi, crijeva skakača, sustava vakuuma izoliranog ventila, faznih separatora i dinamičkog sustava vakuumske crpke (uključujući vakuumske pumpe, solenoidne ventile i vakuumske mjerače etipt etc. ). Duljina jednostrukog fleksibilnog crijeva može se prilagoditi prema zahtjevima korisnika.
11. VISENE TIPKE ZA POVEZANJE: VISUMENI BAYONET CONCENCE (VBC) Vrsta i zavarena veza mogu se odabrati. VBC tip ne treba izolirano liječenje na licu mjesta.
