Sustavi za hlađenje tekućim dušikom široko se koriste u industriji poluvodiča i čipova, uključujući proces,
- Tehnologija molekularne epitaksije snopa (MBE)
- Test čipa nakon COB paketa
Povezani proizvodi
Serija vakuumski izoliranih cijevi
Serija vakuumski izoliranih fleksibilnih crijeva
Dinamički sustav vakuumske pumpe
Serija vakuumski izoliranih faznih separatora
Serija vakuumski izoliranih ventila
Oprema za podršku cjevovodnih sustava
MOLEKULARNA EPITAKSIJA SNOPA
Tehnologija molekularne epitaksije snopa (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu tankoslojnih poluvodičkih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. Razvojem tehnologije ultravisokog vakuuma, primjena tehnologije proširena je na područje znanosti o poluvodičima.
HL je primijetio potražnju za MBE sustavom hlađenja tekućim dušikom, organizirao tehničku okosnicu za uspješan razvoj posebnog MBE sustava hlađenja tekućim dušikom za MBE tehnologiju i kompletnog seta vakuumski izoliranih cjevovodnih sustava, koji se koristi u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima.
Uobičajeni problemi industrije poluvodiča i čipova uključuju:
- Tlak tekućeg dušika u terminalnoj (MBE) opremi. Spriječite preopterećenje tlakom zbog oštećenja terminalne (MBE) opreme.
- Višestruki regulatori ulaza i izlaza kriogene tekućine
- Temperatura tekućeg dušika u terminalnoj opremi
- Razumna količina kriogenih emisija plinova
- (Automatsko) prebacivanje glavnih i ogranaka vodova
- Podešavanje (smanjenje) tlaka i stabilnost VIP-a
- Čišćenje spremnika od mogućih nečistoća i ostataka leda
- Vrijeme punjenja opreme za tekućinu terminala
- Predhlađenje cjevovoda
- Otpornost na tekućine u VIP sustavu
- Kontrolirajte gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuiranog rada sustava
HL-ova vakuumski izolirana cijev (VIP) izrađena je prema standardu ASME B31.3 za tlačne cijevi. Inženjersko iskustvo i sposobnost kontrole kvalitete osiguravaju učinkovitost i isplativost postrojenja kupca.
RJEŠENJA
HL Cryogenic Equipment nudi kupcima vakuumski izolirani cjevovodni sustav koji zadovoljava zahtjeve i uvjete industrije poluvodiča i čipova:
1. Sustav upravljanja kvalitetom: ASME B31.3 Pravilnik o tlačnim cjevovodima.
2. Specijalni fazni separator s višestrukim ulazima i izlazima kriogene tekućine s funkcijom automatske kontrole zadovoljava zahtjeve emisije plinova, recikliranog tekućeg dušika i temperature tekućeg dušika.
3. Odgovarajući i pravovremeni dizajn ispuha osigurava da terminalna oprema uvijek radi unutar projektirane vrijednosti tlaka.
4. Plinsko-tekuća barijera postavlja se u vertikalnu VI cijev na kraju VI cjevovoda. Plinsko-tekuća barijera koristi princip plinskog brtvljenja kako bi blokirala toplinu s kraja VI cjevovoda u VI cjevovod i učinkovito smanjila gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuiranog i povremenog rada sustava.
5.VI Cjevovodi kojima upravlja serija vakuumski izoliranih ventila (VIV): Uključujući vakuumski izolirane (pneumatske) zaporne ventile, vakuumski izolirane nepovratne ventile, vakuumski izolirane regulacijske ventile itd. Različite vrste VIV-a mogu se modularno kombinirati za upravljanje VIP-om prema potrebi. VIV je integriran s VIP prefabrikacijom u proizvođaču, bez izolacijske obrade na licu mjesta. Brtvena jedinica VIV-a može se lako zamijeniti. (HL prihvaća marku kriogenih ventila koju odrede kupci, a zatim izrađuje vakuumski izolirane ventile od strane HL-a. Neke marke i modeli ventila možda se neće moći pretvoriti u vakuumski izolirane ventile.)
6. Čistoća, ako postoje dodatni zahtjevi za čistoću unutarnje površine cijevi. Preporučuje se da kupci odaberu cijevi od nehrđajućeg čelika BA ili EP kao VIP unutarnje cijevi kako bi se dodatno smanjilo prolijevanje nehrđajućeg čelika.
7. Vakuumski izolirani filter: Očistite spremnik od mogućih nečistoća i ostataka leda.
8. Nakon nekoliko dana ili duljeg prekida rada ili održavanja, vrlo je potrebno prethodno ohladiti VI cjevovode i terminalnu opremu prije ulaska kriogene tekućine, kako bi se izbjeglo stvaranje ledene troske nakon što kriogena tekućina izravno uđe u VI cjevovode i terminalnu opremu. Funkciju prethodnog hlađenja treba uzeti u obzir prilikom projektiranja. Ona pruža bolju zaštitu terminalne opreme i potporne opreme VI cjevovoda, poput ventila.
9. Odgovara za dinamičke i statičke vakuumski izolirane (fleksibilne) cjevovodne sustave.
10. Dinamički vakuumski izolirani (fleksibilni) cjevovodni sustav: Sastoji se od VI fleksibilnih crijeva i/ili VI cijevi, spojnih crijeva, vakuumski izoliranog ventilskog sustava, faznih separatora i dinamičkog vakuumskog pumpnog sustava (uključujući vakuumske pumpe, solenoidne ventile i vakuumske mjerače itd.). Duljina jednog VI fleksibilnog crijeva može se prilagoditi zahtjevima korisnika.
11. Različite vrste priključaka: Mogu se odabrati vrsta vakuumskog bajonetnog priključka (VBC) i zavareni priključak. VBC tip ne zahtijeva izolacijsku obradu na licu mjesta.
