Kućišta i rješenja za poluvodičke i čipove

/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/

Sustavi hlađenja tekućim dušikom naširoko se koriste u industriji poluvodiča i čipova, uključujući procese,

  • Tehnologija epitaksije molekularnim snopom (MBE)
  • Test čipa nakon COB paketa

Povezani proizvodi

EPITAKSIJA MOLEKULARNOG ZRAKA

Tehnologija molekularne epitaksije (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu poluvodičkih tankoslojnih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja.S razvojem tehnologije ultra-visokog vakuuma, primjena tehnologije proširena je i na područje znanosti o poluvodičima.

HL je uočio potražnju MBE sustava za hlađenje tekućim dušikom, organiziranu tehničku okosnicu za uspješan razvoj posebnog MBE sustava za hlađenje tekućeg dušika za MBE tehnologiju i kompletan set vakuumsko izoliranih sustava cjevovoda, koji se koristi u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima. .

Uobičajeni problemi industrije poluvodiča i čipova uključuju:

  • Tlak tekućeg dušika u terminalnoj (MBE) opremi.Spriječite preopterećenje tlakom zbog oštećenja terminalne (MBE) opreme.
  • Višestruke kontrole ulaza i izlaza za kriogenu tekućinu
  • Temperatura tekućeg dušika u terminalnoj opremi
  • Razumna količina emisija kriogenih plinova
  • (Automatsko) Prebacivanje glavnih i odvojnih vodova
  • Podešavanje tlaka (smanjenje) i stabilnost VIP-a
  • Čišćenje mogućih nečistoća i ostataka leda iz spremnika
  • Vrijeme punjenja terminalne tekuće opreme
  • Predhlađenje cjevovoda
  • Otpornost na tekućinu u VIP sustavu
  • Kontrolirajte gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuiranog rada sustava

HL-ova vakumsko izolirana cijev (VIP) izrađena je prema ASME B31.3 kodu za tlačne cijevi kao standard.Inženjersko iskustvo i sposobnost kontrole kvalitete kako bi se osigurala učinkovitost i isplativost postrojenja kupca.

RJEŠENJA

HL Cryogenic Equipment kupcima nudi vakuumski izolirani cijevni sustav kako bi zadovoljio zahtjeve i uvjete industrije poluvodiča i čipova:

1. Sustav upravljanja kvalitetom: ASME B31.3 Kodeks tlačnih cjevovoda.

2. Posebni separator faza s višestrukim ulazom i izlazom za kriogenu tekućinu s funkcijom automatskog upravljanja zadovoljava zahtjeve emisije plinova, recikliranog tekućeg dušika i temperature tekućeg dušika.

3. Odgovarajući i pravovremeni dizajn ispuha osigurava da terminalna oprema uvijek radi unutar projektirane vrijednosti tlaka.

4. Pregrada za plin i tekućinu postavlja se u vertikalnu VI cijev na kraju VI cjevovoda.Gas-liquid Barrier koristi princip plinskog brtvljenja kako bi blokirao toplinu s kraja VI cjevovoda u VI cjevovod i učinkovito smanjio gubitak tekućeg dušika tijekom diskontinuiranog i povremenog rada sustava.

5.VI Cjevovodi koje kontrolira serija ventila s vakuumskom izolacijom (VIV): uključujući vakuumski izolirani (pneumatski) zaporni ventil, vakuumski izolirani nepovratni ventil, vakuumski izoliran regulacijski ventil itd. Različite vrste VIV-a mogu se modularno kombinirati za kontrolu VIP-a kao potreban.VIV je integriran s VIP prefabrikacijom u proizvođaču, bez izolirane obrade na licu mjesta.Brtvena jedinica VIV-a može se lako zamijeniti.(HL prihvaća marku kriogenih ventila koju su odredili kupci, a zatim izrađuje ventile s vakuumskom izolacijom od strane HL-a. Neke marke i modeli ventila možda se neće moći izraditi u vakuumsko izolirane ventile.)

6.Čistoća, ako postoje dodatni zahtjevi za čistoćom površine unutarnje cijevi.Predlaže se da kupci odaberu BA ili EP cijevi od nehrđajućeg čelika kao VIP unutarnje cijevi kako bi se dodatno smanjilo izlijevanje nehrđajućeg čelika.

7.Vakumski izolirani filter: Očistite moguće nečistoće i ostatke leda iz spremnika.

8. Nakon nekoliko dana ili duljeg zaustavljanja ili održavanja, vrlo je potrebno prethodno ohladiti VI cjevovod i terminalnu opremu prije ulaska kriogene tekućine, kako bi se izbjegla ledena troska nakon što kriogena tekućina izravno uđe u VI cjevovod i terminalnu opremu.U dizajnu treba uzeti u obzir funkciju predhlađenja.Pruža bolju zaštitu terminalne opreme i opreme za potporu VI cjevovoda kao što su ventili.

9. Odijelo za dinamički i statički izolirani (fleksibilni) sustav cjevovoda.

10. Dinamički vakuumski izolirani (fleksibilni) sustav cjevovoda: Sastoji se od VI fleksibilnih crijeva i/ili VI cijevi, kratkospojnih crijeva, vakuumski izoliranog sustava ventila, separatora faza i sustava dinamičkih vakuumskih pumpi (uključujući vakuumske pumpe, elektromagnetne ventile i vakuumske mjerače itd. ).Duljina jednog VI fleksibilnog crijeva može se prilagoditi prema zahtjevima korisnika.

11. Različite vrste spajanja: mogu se odabrati tip vakuumske bajonetne veze (VBC) i zavareni spoj.VBC tip ne zahtijeva izoliranu obradu na licu mjesta.