Kratki opis molekularne epitaksije snopa (MBE)
Tehnologija molekularne epitaksije snopa (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu tankoslojnih poluvodičkih materijala korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja. Razvojem tehnologije ultravisokog vakuuma, primjena tehnologije proširena je na područje znanosti o poluvodičima.
Motivacija istraživanja poluvodičkih materijala je potražnja za novim uređajima, koji mogu poboljšati performanse sustava. Zauzvrat, nova tehnologija materijala može proizvesti novu opremu i novu tehnologiju. Molekularna epitaksija snopa (MBE) je tehnologija visokog vakuuma za rast epitaksijalnog sloja (obično poluvodiča). Koristi toplinski snop izvornih atoma ili molekula koji utječu na monokristalnu podlogu. Karakteristike ultra visokog vakuuma procesa omogućuju in situ metalizaciju i rast izolacijskih materijala na novoizraslim poluvodičkim površinama, što rezultira površinama bez onečišćenja.
MBE tehnologija
Molekularna epitaksija snopa provedena je u visokom vakuumu ili ultravisokom vakuumu (1 x 10-8Pa) okruženje. Najvažniji aspekt molekularne epitaksije snopa je njezina niska brzina taloženja, koja obično omogućuje epitaksijalni rast filma brzinom manjom od 3000 nm na sat. Takva niska brzina taloženja zahtijeva dovoljno visok vakuum kako bi se postigla ista razina čistoće kao i druge metode taloženja.
Kako bi se zadovoljio gore opisani ultra-visoki vakuum, MBE uređaj (Knudsenova ćelija) ima sloj za hlađenje, a ultra-visoki vakuum u komori za rast mora se održavati pomoću sustava cirkulacije tekućeg dušika. Tekući dušik hladi unutarnju temperaturu uređaja na 77 Kelvina (-196 °C). Okruženje niske temperature može dodatno smanjiti sadržaj nečistoća u vakuumu i osigurati bolje uvjete za taloženje tankih filmova. Stoga je za MBE opremu potreban namjenski sustav cirkulacije hlađenja tekućim dušikom kako bi se osigurala kontinuirana i stabilna opskrba tekućim dušikom od -196 °C.
Sustav za cirkulaciju tekućeg dušika za hlađenje
Vakuumski sustav za cirkulaciju tekućeg dušika za hlađenje uglavnom uključuje,
● kriogeni spremnik
● glavna i ogranka vakuumski obložene cijevi / vakuumski obloženo crijevo
● MBE specijalni fazni separator i vakuumski obložena ispušna cijev
● razni vakuumski obloženi ventili
● plinsko-tekuća barijera
● vakuumski omotani filter
● dinamički sustav vakuumske pumpe
● Sustav za predhlađenje i ponovno zagrijavanje s pročišćavanjem
Tvrtka HL Cryogenic Equipment primijetila je potražnju za MBE sustavom hlađenja tekućim dušikom, organizirala je tehničku okosnicu za uspješan razvoj posebnog MBE sustava hlađenja tekućim dušikom za MBE tehnologiju i kompletnog seta vakuumske izolacije.edcjevovodni sustav, koji se koristi u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima.
HL kriogena oprema
HL Cryogenic Equipment, osnovan 1992. godine, marka je povezana s tvrtkom Chengdu Holy Cryogenic Equipment u Kini. HL Cryogenic Equipment posvećen je dizajnu i proizvodnji visokovakuumski izoliranih kriogenih cjevovodnih sustava i povezane prateće opreme.
Za više informacija posjetite službenu web stranicuwww.hlcryo.comili e-poštom nainfo@cdholy.com.
Vrijeme objave: 06.05.2021.
