Utvrdak epitaksije molekularne zrake (MBE)
Tehnologija epitaksije molekularnog snopa (MBE) razvijena je 1950 -ih za pripremu tankih filmova poluvodiča pomoću tehnologije vakuumskog isparavanja. Razvoj ultra-visoke vakuumske tehnologije, primjena tehnologije proširena je na područje znanosti o poluvodičima.
Motivacija istraživanja poluvodičkih materijala je potražnja za novim uređajima koji mogu poboljšati performanse sustava. Zauzvrat, nova materijalna tehnologija može proizvesti novu opremu i novu tehnologiju. Epitaksija molekularne zrake (MBE) visoka je vakuum tehnologija za rast epitaksijalnog sloja (obično poluvodiča). Koristi toplinsku zraku izvornog atoma ili molekula koje utječu na pojedinačni kristalni supstrat. Ultra-visoke karakteristike vakuuma procesa omogućuju metalizaciju in-situ i rast izolacijskih materijala na novo uzgojenim poluvodičkim površinama, što rezultira sučeljima bez onečišćenja.
MBE tehnologija
Epitaksija molekularne zrake provedena je u visokom vakuumu ili ultra-visokom vakuumu (1 x 10-8PA) Okoliš. Najvažniji aspekt epitaksije molekularnog snopa je njegova niska stopa taloženja, što obično omogućava da se film epitaksijalno raste brzinom manjom od 3000 nm na sat. Takva niska stopa taloženja zahtijeva dovoljno visok vakuum da bi se postigla ista razina čistoće kao i druge metode taloženja.
Da bi se ispunilo gore opisani ultra-visoki vakuum, MBE uređaj （Knudsen ćelija） ima sloj rashladnog sloja, a ultra-visoki vakuumsko okruženje komore za rast mora se održavati pomoću sustava cirkulacije tekućeg dušika. Tekući dušik hladi unutarnju temperaturu uređaja na 77 Kelvina (-196 ° C). Okoliš s niskim temperaturama može dodatno smanjiti sadržaj nečistoća u vakuumu i pružiti bolje uvjete za taloženje tankih filmova. Stoga je potreban namjenski sustav cirkulacije dušika za hlađenje dušika kako bi MBE oprema osigurao kontinuirano i stalno opskrbu tekućim dušikom od -196 ° C.
Sustav cirkulacije tekućeg dušika
Sustav cirkulacije hlađenja u vakuumu tekućih dušika uglavnom uključuje,
● Kriogeni spremnik
● Glavna i grana vakuumska jakna cijevi / vakuumska jakna crijevo
● MBE Specijalni fazni separator i vakuumska ispušna cijev
● Različiti ventili za vakuumske jakne
● Barijera s plin-tekućinom
● Filter s vakuumskom jaknom
● Dinamički sustav vakuumske pumpe
● Sustav za prehladu i čišćenje
Tvrtka HL kriogene opreme primijetila je potražnju MBE tekućeg sustava za hlađenje dušika, organiziranu tehničku okosnicu za uspješno razvijanje posebnog sustava za hlađenje tekućeg dušika MBE za tehnologiju MBE i kompletan skup vakuumskog inzulataedSustav cjevovoda, koji se koristi u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima.
HL kriogena oprema
HL kriogena oprema koja je osnovana 1992. godine marka je povezana s Chengdu Holy Cryogec Equipment Company u Kini. HL kriogena oprema posvećena je dizajnu i proizvodnji visokog vakuumskog izoliranog kriogenog cjevovoda i srodne potporne opreme.
Za više informacija posjetite službenu web stranicuwww.hlcryo.com, ili e -poštominfo@cdholy.com.
Post Vrijeme: svibanj-06-2021
