Kratak opis epitaksije molekularnim snopom (MBE)
Tehnologija epitaksije molekularnim snopom (MBE) razvijena je 1950-ih za pripremu tankoslojnih materijala poluvodiča korištenjem tehnologije vakuumskog isparavanja.S razvojem tehnologije ultravisokog vakuuma, primjena tehnologije je proširena na područje znanosti o poluvodičima.
Motivacija istraživanja poluvodičkih materijala je potražnja za novim uređajima koji mogu poboljšati performanse sustava.Zauzvrat, nova tehnologija materijala može proizvesti novu opremu i novu tehnologiju.Molecular beam epitaxy (MBE) je visokovakuumska tehnologija za rast epitaksijalnog sloja (obično poluvodiča).Koristi toplinski snop izvornih atoma ili molekula koji utječu na monokristalni supstrat.Ultra-visoke vakuumske karakteristike procesa omogućuju in situ metalizaciju i rast izolacijskih materijala na novonastalim površinama poluvodiča, što rezultira sučeljima bez onečišćenja.
MBE tehnologija
Epitaksija molekularnim snopom provedena je u visokom vakuumu ili ultravisokom vakuumu (1 x 10-8Pa) okoliš.Najvažniji aspekt epitaksije molekularnim snopom je njezina niska brzina taloženja, koja obično omogućuje epitaksijski rast filma brzinom manjom od 3000 nm na sat.Tako niska stopa taloženja zahtijeva dovoljno visok vakuum da bi se postigla ista razina čistoće kao i drugim metodama taloženja.
Kako bi se zadovoljio gore opisani ultravisoki vakuum, MBE uređaj （Knudsenova ćelija）ima rashladni sloj, a okolina ultravisokog vakuuma komore za rast mora se održavati pomoću sustava cirkulacije tekućeg dušika.Tekući dušik hladi unutarnju temperaturu uređaja na 77 Kelvina (−196 °C).Okolina niske temperature može dodatno smanjiti sadržaj nečistoća u vakuumu i omogućiti bolje uvjete za taloženje tankih filmova.Stoga je za MBE opremu potreban namjenski rashladni sustav za hlađenje tekućim dušikom kako bi se osigurala kontinuirana i postojana opskrba tekućim dušikom od -196 °C.
Rashladni sustav cirkulacije tekućim dušikom
Sustav cirkulacije vakuumskog tekućeg dušika uglavnom uključuje,
● kriogeni spremnik
● glavna i ogranak vakuumski obložena cijev / vakuumsko obloženo crijevo
● MBE specijalni separator faza i ispušna cijev s vakuumskim omotačem
● razni ventili s vakuumskim omotačem
● barijera plin-tekućina
● filtar s vakuumskim omotačem
● sustav dinamičke vakuumske pumpe
● Sustav predhlađenja i pročišćavanja ponovnog grijanja
Tvrtka HL Cryogenic Equipment Company primijetila je potražnju za MBE sustavom hlađenja tekućim dušikom, organizirala tehničku okosnicu za uspješan razvoj posebnog MBE sustava hlađenja tekućim dušikom za MBE tehnologiju i kompletan set vakuumske izolacijeedsustav cjevovoda, koji se koristio u mnogim poduzećima, sveučilištima i istraživačkim institutima.
HL kriogena oprema
HL Cryogenic Equipment koji je osnovan 1992. je robna marka povezana s Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company u Kini.HL Cryogenic Equipment je predan dizajnu i proizvodnji visokovakuumski izoliranog kriogenog sustava cjevovoda i povezane prateće opreme.
Za više informacija posjetite službenu web stranicuwww.hlcryo.com, ili e-poštom nainfo@cdholy.com.
Vrijeme objave: 6. svibnja 2021