Projekt Chip MBE završen u proteklim godinama

Tehnologija

Molekularna epitaksija snopa, ili MBE, nova je tehnika za uzgoj visokokvalitetnih tankih filmova kristala na kristalnim podlogama. U uvjetima ultra visokog vakuuma, pomoću peći za zagrijavanje opremljene svim potrebnim komponentama generira se para. Kroz rupe nastale nakon kolimacije atomskog ili molekularnog snopa, izravno se ubrizgava u odgovarajuću temperaturu monokristalne podloge, kontrolirajući molekularni snop koji istovremeno skenira podlogu, što može uzrokovati "rast" molekula ili atoma u slojevima kristala kako bi se formirao tanki film na podlozi.

Za normalan rad MBE opreme, potrebno je kontinuirano i stabilno transportirati tekući dušik visoke čistoće, niskog tlaka i ultračistoće u rashladnu komoru opreme. Općenito, spremnik koji osigurava tekući dušik ima izlazni tlak između 0,3 MPa i 0,8 MPa. Tekući dušik na -196 ℃ lako se isparava u dušik tijekom transporta cjevovodom. Nakon što se tekući dušik s omjerom plina i tekućine od oko 1:700 rasplini u cjevovodu, zauzet će veliku količinu prostora za protok tekućeg dušika i smanjiti normalan protok na kraju cjevovoda tekućeg dušika. Osim toga, u spremniku tekućeg dušika vjerojatno će biti ostataka koji nisu očišćeni. U cjevovodu tekućeg dušika, prisutnost vlažnog zraka također će dovesti do stvaranja ledene troske. Ako se te nečistoće ispuste u opremu, to će uzrokovati nepredvidiva oštećenja opreme.

Stoga se tekući dušik u vanjskom spremniku transportira do MBE opreme u radionici bez prašine s visokom učinkovitošću, stabilnošću i čistoćom, a niski tlak, bez dušika, bez nečistoća, 24 sata bez prekida, takav sustav upravljanja transportom je kvalificiran proizvod.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Odgovarajuća MBE oprema

Od 2005. godine, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizira i poboljšava ovaj sustav te surađuje s međunarodnim proizvođačima MBE opreme. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i REBER, imaju kooperativne odnose s našom tvrtkom. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i REBER, surađivali su u velikom broju projekata.

Riber SA je vodeći globalni dobavljač proizvoda za molekularno-snopnu epitaksiju (MBE) i srodnih usluga za istraživanje složenih poluvodiča i industrijske primjene. Riber MBE uređaj može nanositi vrlo tanke slojeve materijala na podlogu, uz vrlo visoku kontrolu. Vakuumska oprema tvrtke HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) opremljena je Riber SA uređajem. Najveći uređaj je Riber 6000, a najmanji Compact 21. U dobrom je stanju i prepoznali su ga kupci.

DCA je vodeći svjetski oksidni MBE. Od 1993. provodi se sustavni razvoj tehnika oksidacije, zagrijavanja antioksidativnih podloga i izvora antioksidansa. Iz tog razloga, mnogi vodeći laboratoriji odabrali su DCA oksidnu tehnologiju. Kompozitni poluvodički MBE sustavi koriste se diljem svijeta. VJ sustav cirkulacije tekućeg dušika tvrtke HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) i MBE oprema više modela DCA imaju odgovarajuće iskustvo u mnogim projektima, kao što su modeli P600, R450, SGC800 itd.

tcm (2)

Tablica performansi

Šangajski institut za tehničku fiziku, Kineska akademija znanosti
11. institut Kineske korporacije za elektroničku tehnologiju
Institut za poluvodiče, Kineska akademija znanosti
Huawei
Alibaba DAMO akademija
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Vrijeme objave: 26. svibnja 2021.

Ostavite svoju poruku