Projekt CHIP MBE završen posljednjih godina

Tehnologija

Molekularna epitaksija snopa, ili MBE, nova je tehnika za rastuće visokokvalitetne tanke filmove kristala na kristalnim supstratima. U ultra-visokim uvjetima vakuuma, peć za grijanje opremljen je svim vrstama potrebnih komponenti i stvara paru, kroz rupe formirane nakon kolimacije atomske ili molekularne zrake, izravno ubrizgavanje na odgovarajuću temperaturu pojedinačnog kristalnog supstrata, kontrolirajući molekularnu snopu u skeniranje u podlozi ili u isto vrijeme, može se napraviti molekulama u isto vrijeme, može napraviti molekule u istom vremenu, a to može napraviti molekule u istom vremenu, može se napraviti molekula u istom vremenu molekule u molekuliranju u molekuliranju u molekuliranju u molekuliranju ili u tlače supstrat "rast".

Za normalan rad MBE opreme, potreban je visoka čistoća, niski tlak i ultra čista tekućina dušika da bi se kontinuirano i stabilno transportirali u komoru za hlađenje opreme. Općenito, spremnik koji osigurava tekući dušik ima izlazni tlak između 0,3MPA i 0,8MPA.Liquid dušik na -196 ℃ lako se ispari u dušik tijekom transporta cjevovoda. Jednom kada se tekući dušik s omjerom tekućine od oko 1: 700 plinovoda u cjevovodu, on će zauzeti veliku količinu prostora protoka tekućeg dušika i smanjiti normalan protok na kraju cjevovoda tekućeg dušika. Osim toga, u spremniku tekućeg dušika vjerojatno će biti krhotina koja nije očišćena. U cjevovodu s tekućim dušikom, postojanje vlažnog zraka također će dovesti do stvaranja ledene šljake. Ako se ove nečistoće ispuštaju u opremu, to će prouzrokovati nepredvidivo oštećenje opreme.

Stoga se tekući dušik u vanjskom spremniku prevozi do MBE opreme u radionici bez prašine s visokom učinkovitošću, stabilnošću i čistim, a niski tlak, bez dušika, bez nečistoća, 24 sata neprekinuti, takav sustav za kontrolu transporta je kvalificirani proizvod.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Podudaranje MBE opreme

Od 2005. godine, HL kriogena oprema (HL CRYO) optimizirala je i poboljšala ovaj sustav te surađivala s međunarodnim proizvođačima opreme MBE. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA, Reber, imaju suradničke odnose s našom tvrtkom. Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i Reber, surađivali su u velikom broju projekata.

Riber SA vodeći je globalni dobavljač molekularnog snopa Epitaksije (MBE) i srodnih usluga za istraživanje spoja poluvodiča i industrijske primjene. Uređaj Riber MBE može na supstratu nasloniti vrlo tanke slojeve materijala, s vrlo visokim kontrolama. Vakuumska oprema HL kriogene opreme (HL CRYO) opremljena je s Riber SA Najveća oprema je Riber 6000, a najmanja je kompaktna 21. U dobrom je stanju i kupci su je prepoznali.

DCA je vodeći svjetski oksid MBE. Od 1993. godine provedena je sustavni razvoj tehnika oksidacije, provedena je grijanje supstrata antioksidanata i antioksidans. Iz tog razloga, mnogi vodeći laboratoriji odabrali su DCA oksid tehnologiju. Kompozitni poluvodički MBE sustavi koriste se širom svijeta. VJ tekući dušik cirkulirajući sustav HL kriogene opreme (HL CRYO) i MBE opreme više modela DCA imaju odgovarajuće iskustvo u mnogim projektima, kao što su model p600, r450, sgc800 itd.

TCM (2)

Tablica performansi

Šangajski institut za tehničku fiziku, Kineska akademija znanosti
11. institut China Electronics Technology Corporation
Institut poluvodiča, Kineska akademija znanosti
Huawei
Akademija Alibaba Damo
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Post Vrijeme: svibanj-26-2021

Ostavite svoju poruku