Projekt Chip MBE dovršen proteklih godina

Tehnologija

Molecular beam epitaxy, ili MBE, nova je tehnika za uzgoj visokokvalitetnih tankih filmova kristala na kristalnim supstratima.U uvjetima ultra-visokog vakuuma, peć za grijanje opremljena je svim vrstama potrebnih komponenti i stvara paru, kroz rupe nastale nakon kolimiranja snopa atomskog ili molekularnog snopa, izravno ubrizgavanje na odgovarajuću temperaturu monokristalne podloge, kontrolirajući molekularni snop do skeniranje supstrata u isto vrijeme, može učiniti da molekule ili atomi u slojevima za poravnavanje kristala tvore tanki film na supstratu "rastu".

Za normalan rad MBE opreme potreban je kontinuirani i stabilan transport tekućeg dušika visoke čistoće, niskog tlaka i ultra-čistog u rashladnu komoru opreme.Općenito, spremnik koji daje tekući dušik ima izlazni tlak između 0,3 MPa i 0,8 MPa. Tekući dušik na -196 ℃ lako se isparava u dušik tijekom transporta cjevovodom.Nakon što se tekući dušik s omjerom plin-tekućina od oko 1:700 rasplini u cjevovodu, zauzet će veliku količinu prostora za protok tekućeg dušika i smanjiti normalni protok na kraju cjevovoda za tekući dušik.Osim toga, u spremniku za tekući dušik vjerojatno će biti krhotina koje nisu očišćene.U cjevovodu tekućeg dušika, postojanje vlažnog zraka također će dovesti do stvaranja ledene troske.Ako se ove nečistoće ispuste u opremu, to će uzrokovati nepredvidivu štetu na opremi.

Stoga se tekući dušik u vanjskom skladišnom spremniku transportira do MBE opreme u radionici bez prašine s visokom učinkovitošću, stabilnošću i čistoćom, niskim tlakom, bez dušika, bez nečistoća, 24 sata bez prekida, takav sustav kontrole transporta je kvalificirani proizvod.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Odgovarajuća MBE oprema

Od 2005. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimizira i poboljšava ovaj sustav te surađuje s međunarodnim proizvođačima MBE opreme.Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA, REBER, imaju kooperativne odnose s našom tvrtkom.Proizvođači MBE opreme, uključujući DCA i REBER, surađivali su u velikom broju projekata.

Riber SA je vodeći globalni dobavljač proizvoda za epitaksiju molekularnim snopom (MBE) i srodnih usluga za istraživanje složenih poluvodiča i industrijske primjene.Uređaj Riber MBE može nanositi vrlo tanke slojeve materijala na podlogu, uz vrlo visoke kontrole.Vakuumska oprema HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) opremljena je Riber SA Najveća oprema je Riber 6000, a najmanja je Compact 21. U dobrom je stanju i kupci su je prepoznali.

DCA je vodeći svjetski oksidni MBE.Od 1993. godine provodi se sustavni razvoj tehnika oksidacije, antioksidativnog zagrijavanja supstrata i izvora antioksidansa.Iz tog su razloga mnogi vodeći laboratoriji odabrali DCA oksidnu tehnologiju.Kompozitni poluvodički MBE sustavi koriste se diljem svijeta.VJ sustav cirkulacije tekućeg dušika HL kriogene opreme (HL CRYO) i MBE oprema više modela DCA imaju podudarno iskustvo u mnogim projektima, kao što su model P600, R450, SGC800 itd.

tcm (2)

Tablica performansi

Šangajski institut za tehničku fiziku, Kineska akademija znanosti
11. Institut kineske elektroničke tehnološke korporacije
Institut za poluvodiče Kineske akademije znanosti
Huawei
Alibaba DAMO akademija
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Vrijeme objave: 26. svibnja 2021